扫描电镜原理示意图怎么画
2024-01-30
一、扫描电镜的基本原理 扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用电子束与物质相互作用产生的信号来观察样品表面形貌和成分的高分辨率显微镜。其基本原理是通过在样品表面扫描细束电子束,当电子束与样品相互作用时,会产生多种信号,如二次电子、背散射电子和X射线等。这些信号经过放大和处理后,形成样品表面的图像和成分分布信息。 二、电子束的生成与控制 SEM中的电子束由热阴极或场发射阴极产生,经过聚焦系统和透镜系统进行束聚和聚焦,然后通过扫描线圈进行扫描。电子束